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探秘硅片表面金屬沾污的全反射X光熒光光譜測試方法

隨著科技的不斷進步，硅片在半導(dǎo)體和電子行業(yè)中的應(yīng)用日益廣泛。然而，硅片表面金屬沾污問題一直是制約其性能的重要因素之一。為了更準(zhǔn)確地檢測和分析硅片表面金屬沾污情況，全反射X光熒光光譜測試方法應(yīng)運而生。 全反射X光熒光光譜…

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